正硅酸四乙酯，正式名称为四乙氧基硅烷，简称 TEOS，是一种化学式为 Si(OC2H5)4 的化合物。TEOS 是正硅酸 Si(OH)4 的乙酯，是最常见的硅烷氧基化合物。
TEOS 主要用作硅聚合物的交联剂和半导体工业中二氧化硅的前体。其他用途包括地毯和其他物品的涂层。TEOS 还可用于生产气凝胶。这些应用利用了 Si-OR 键的反应活性。